潔凈室(Clean Room）也叫無塵室、無塵車間、潔凈廠房、無塵廠房、潔凈車間，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。潔凈室應(yīng)用涉及到光學(xué)電子、半導(dǎo)體芯片、LED液晶制造，生物醫(yī)藥、精密儀器、飲料食品，PCB印刷等高新技術(shù)企業(yè),以及醫(yī)院和美容等行業(yè)的潔凈手術(shù)室(無塵手術(shù)室).

1.潔凈度100級(jí) cleanliness class 100

潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)為0。周期中建立模范標(biāo)準(zhǔn)的決心。

2.潔凈度1000級(jí) cleanliness class 1000

潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。

3.潔凈度10000級(jí) cleanliness class 10000

潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

4.潔凈度100000級(jí) cleanliness class 100000

潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3(3500粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)。

5.潔凈度300000級(jí) cleanliness class 300000

潔凈室里大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3(10500粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3(90粒/L)。